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摘要:中国光刻机技术取得显著进展,当前纳米精度水平不断提升。通过自主研发和创新,中国已成功开发出具有自主知识产权的光刻机,并在关键领域得到应用。随着技术的不断进步,中国光刻机的纳米精度已达到国际先进水平,为半导体产业...